Van de de Ventilatorfilter van SUS304 Hepa FFU van het de Eenheids Gegalvaniseerde Blad Laminaire de Luchtstroom

De nieuwe de Stroomffu Schone Zaal FFU van de Type Laminaire Lucht Eenheid van de Ventilatorfilter

De flexibiliteit van het schoonmakende systeem is zeer belangrijk voor IC-fabrieken wegens zijn hoge flexibiliteit en hoog dekkingstarief. Als de netheid in de workshop regionale aanpassing vergt aangezien het proces verandert, kan de netheid op lokale gebieden worden veranderd door het FFU-luchtvolume te veranderen of de blinde plaat te vervangen. Wanneer dicht behandeld, kan het dekkingstarief 85,5% bereiken.

Het hogere plafond van FFU is negatieve druk, die een negatieve druk het verzegelen rol kan spelen. De luchtdruk in het plafond is negatieve druk, en de luchtdruk in de netheid is groter dan de druk in de plafondruimte. Als er een hiaat tussen FFU en de steunverbinding is, zal de negatieve druk de lucht verhinderen voorbijgaand niet door de HEPA-filter de ruimte in te gaan, die bevorderlijk is voor het verzekeren van de netheid van de schone ruimte.

De weerstand van het luchtsysteem is klein, is de windsnelheid bij de luchtafzet laag, en het windwaartse gebied van FFU is groot, en de weerstand van de luchtstroom is over 50Pa; Het sectionele gebied van de terugkeerluchtleiding is ook groot, en de weerstand van de terugkeerluchtleiding is binnen 15Pa; De weerstand van geperforeerd vloer en traliewerk is klein. De totale weerstand van terugkeerlucht (met inbegrip van geperforeerde vloer en traliewerkluchtleiding), FFU-de weerstand en de definitieve filterweerstand zijn minder dan 250Pa. De FFU-snelheid van de afzetwind is over het algemeen 0.38~0.45m/s.

Laag energieverbruik per het volume van de eenheidslucht nadat FFU wordt goedgekeurd, is er geen behoefte om een hulpventilator en een speciale machineruimte toe te voegen, en de weerstand van de pijpleiding van de luchtlevering wordt vermeden. Wanneer DC/EG (elektronische gelijkrichter) de motor voor FFU wordt goedgekeurd, kan de efficiency van motor 75%~80% bereiken, en elke reeks kan snelheidsregelgeving controle volgens de daling van het filtervoltage leiden om energieverbruik te bewaren. Daarom is het energieverbruik per het volume van de eenheidslucht over het algemeen lager dan het gecentraliseerde systeem van grote centrifugaalventilators.